臭氧可以通過高壓放電（電暈放電）、化學等方法獲得。按臭氧產生的方式劃分，目前的臭氧發(fā)生器主要有三種：一是高壓放電式，二是紫外線照射式，三是點解式。

一、高壓放電式發(fā)生器  是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場，使電場內或電場周圍的氧分子發(fā)生電化學反應，從而制造臭氧。這種臭氧發(fā)生器具有技術成熟、工作穩(wěn)定、使用壽命長、臭氧產量大（單機可達1kg/h）等優(yōu)點，所以是國內外相關行業(yè)使用廣泛的臭氧發(fā)生器。

在高壓放電式臭氧發(fā)生器中又分為以下幾種類型。

1、按發(fā)生器的高壓電頻率劃分，有工頻（50~60Hz）、中頻（400~1000Hz）和高頻（＞1000Hz）三種。工頻發(fā)生器由于體積大、功耗高等缺點，目前已基本退出市場。中、高頻發(fā)生器具有體積小、功耗低、臭氧產量大等優(yōu)點，是現(xiàn)在常用的產品。

2、按使用的氣體原料劃分，有氧氣型和空氣型兩種。

3、按冷卻方式劃分，有水冷型和風冷型，臭氧發(fā)生器工作時會產生大量的熱能，需要冷卻，否則臭氧會因高溫而邊產生邊分裂。水冷型發(fā)生器冷卻效果好，工作穩(wěn)定，臭氧無衰減，并能長時間連續(xù)工作，但結構復雜，成本稍高，風冷型冷卻效果不夠理想，臭氧衰減明顯。大型發(fā)生器或重要場所使用的發(fā)生器通常都是水冷型的。

4、按介電材料劃分，常見的有石英管、陶瓷板、陶瓷板、玻璃管和搪瓷管等幾種類型。其中石英管由于具有介電常數(shù)高、壁厚均勻、橢圓度好、耐高溫、耐潮濕等特點而常被一些高性能的臭氧發(fā)生器使用。陶瓷板容易脆裂，只適用一些小型發(fā)生器。陶瓷管的壁厚和橢圓度不易控制，容易出現(xiàn)放電不均勻的問題，所以適用得不多。玻璃管和陶瓷管介電常數(shù)低，耐高溫性能差，有爆裂，只有在一些低端發(fā)生器上使用。

5、按臭氧產生部件的結構劃分，有密閉式和開放式兩種。密閉式發(fā)生器的結構特點是密封體本身就是電極，臭氧能夠集中使用，如用于水處理。開放式發(fā)生器的電極是裸露在空氣中的，所產生的臭氧無法集中使用，通常只用于較小空間的空氣凈化或某些小型物品表面。

二、紫外線照射式發(fā)生器

是使用特定波長（185mm）的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產量低、使用壽命短，所以這種發(fā)生器使用范圍較窄，常見于碗柜上使用。

三、點解式發(fā)生器

通常是通過點解純凈水而產生臭氧。由于有臭氧產量無法很大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點，其用途范圍受到限制。目前這種發(fā)生器只是在一些特定的小型設備上或某些特點場所內使用，不具備取代高壓放電式發(fā)生器的條件。